一、真空度不高
1.真空泵温太高
(1)被抽气体温度过高。解决方案：应让气体冷却后再进入真空泵内。
(2)吸入硬物导致真空泵体磨损。解决方案：应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换。
(3)真空泵冷却水流量不够。解决方案：应加大冷却水流量。
(4)装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。解决方案：拆开检查并重新装配。
2.真空泵油有问题
(1)油位过低。解决方案：加足油量到油标中心线。
(3)油被沾污，油质变坏。解决方案：应更换新油。
(3)油的牌号不符。解决方案：换规定牌号的真空泵油。
(4)油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。解决方案：检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。
3.真空泵本身漏气
(1)密封圈漏气。解决方案：检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈
(2)气镇阀垫圈损坏或未拧紧。解决方案：更换垫圈并拧紧气镇阀
(3)排气阀片损坏，密封不好。解决方案：更换气阀片
(4)真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。解决方案：修整真空泵腔或更换。
(5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。解决方案：拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。
(6)转子弹簧变形或折断及旋片动作不灵。解决方案：整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好
(7) 进气口的过滤网被堵塞。解决方案：取下过滤网清洗干净，再装上去。
(8)因加工不良或磨损造成配合间隙过大。解决方案：检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。
(9)真空泵运转中摩擦发热。温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。解决方案：通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
二、泵的轴承部位升温过高
1.轴承外圈松动，发生摩擦。解决方案：更换轴承或轴承盖。
2.在轴承内润滑脂装量太多。解决方案：减少塞在轴承腔内的油量。
3.轴承有所损坏。解决方案：更换轴承。
4.轴承的内外圈配合不当，轴承的间隙过小。解决方案：将轴承卸下，磨小轴颈和增大轴承盒内孔直径。
三.电机、真空泵运异常。电机超负荷运转、真空泵在运转中异常杂音、噪声、转动困难或发生“卡死”现象。
1.真空泵温太高，可参照1款(1)项处理。
2.弹簧变形或断裂，使旋片受力不均匀而发出冲击声。解决方案：更换弹簧。
3.装配不当，造成单面磨损。解决方案：重新装配。
4.过滤网损坏，金属屑、玻璃屑等落入真空泵内，使运转发生障碍。解决方案：拆真空泵检查、清除碎屑，修复或更换磨损部件，并装好过滤网。
5. 真空泵腔内污染严重，导致零件锈蚀。解决方案：拆真空泵请洗，去除锈斑，并换油。
6. 真空泵油变成乳浊状，粘度增大。解决方案：更换新的真空泵油。
7. 真空泵腔、轴和轴套配合过紧，紧成润滑不良。解决方案：重新装配并疏通和调节油路，加强润滑。
8. 电机有故障而产生噪声。解决方案：检修电机或给轴承加上润滑黄油。
真空泵
四.真空泵漏油、喷油
1.转轴、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈损坏或装配不正确。解决方案：仔细检查并更换玻损的密封圈，装配螺时，用力要均匀。
2. 因前后端面不平整或端板未压紧，造成端面漏油。解决方案：将端面修平并压紧前后端板。
3.进气口压强过高。解决方案：设法减少进气量。
4.箱体有漏孔。解决方案：检查谓孔部位并堵。
5.油量过多产生喷油。解决方案：放出多余的油。
6.排气盖下面的挡油网装反引起喷油。解决方案：重新装挡油网。
7.突然暴露大气引起喷油。解决方案：立即关闭低真空阀。
五.真空泵起动困难
1.真空泵已返油。解决方案：用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动。
2.由于长期不运转或停机后未放入大气，使真空泵腔内充满真空泵油。解决方案：用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动。
3.油温太低。解决方案：应给油加温或让室内温度保持在15度以上，也可以用手扳动皮带轮旋转数周，再继续通电运转数分钟，即可正常工作。
3. 油已变质。解决方案：更换新的真空泵油。
4. 电源缺相。解决方案：检修电源。
六.真空泵抽不出液体
1.没有灌注液体。解决方案：重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解决方案：消除杂物
3.吸入管或真空泵内没有排净气体。解决方案：检修吸入管路并排净气体
4.吸上高度超过允许范围。解决方案：按允许吸上高度重新按装真空泵
5.压出管路太细，管路损失太大。解决方案：换适合的压出管路
6.使用扬程超过了设计扬程。解决方案：重新选真空泵
7.输送热的、挥发性的介质。解决方案：降低吸程或采用倒灌按装。
8.转向反了。解决方案：纠正转向